ASML은 세계10대 반도체 기업들이 선택한, 세계최고의 Lithography 기업입니다. 1984년부터 지속적인 투자와 기술 개발을 통해 반도체시장을 이끌어온 ASML은 반도체 핵심공정의 중심에서 우리 삶의 혁신을 만들어가고 있습니다. ASML은 CYMER 인수, E-beam 계측장비회사인 HMI 사의인수와 Zeiss SMT 사업부 투자 등으로 Modeling, Lithography, Metrology 분야에서 성장하며 통합 리소 솔루션을 제공하는 환경을 만들어가고 있습니다. ASML은전세계적으로 24,000명 이상의 직원을 고용하고있으며, 본사는 네덜란드 벨트호벤에 있습니다. 한국에서도 1,400명이상의 직원들이 국내 반도체 생산업체들과 협업하고 있습니다.
주요제품 및 기술
EUV lithography system : ASML은 불가능하다고 생각했던 극자외 (EUV) 광원을 이용한 노광장비를 개발생산하는 유일한 기업입니다. ASML은 지난 20년 이상의 연구개발을 통해 EUV 출력의 어려움을 극복하고 EUV 장비를 시장에 내놓을 수 있었습니다. 뿐만 아니라 EUV장비의 NA값을 0.55(“High-NA”)까지 높인 차세대 EUV 장비에 대한 연구개발을 하고있습니다. 연구중인 장비는 새로운 광학디자인과 속도가 개선된 웨이퍼 스테이지가 적용됩니다. 이를 통해 현재의 EUV 장비대비70% 향상된 해상도와 오버레이가 적용되어 반도체산업이 필요로 하는 미세화 솔루션 제공을 위해 노력하고 있습니다.
DUV lithography system : ASML의 DUV(심자외선) 플랫폼은 현재 반도체 양산에 가장 많이 사용되는 시스템입니다. DUV 시스템은 물을 사용한 Immersion장비와 Dry 솔루션이 있으며 고객사에서 생산하는 다양한 반도체제품군을 통해 수 많은 제품에 사용되고 있습니다. ASML의 Immersion과 Dry 시스템은 뛰어난 생산성과 우수한 이미징 및 오버레이 성능을 기반으로 시장우위를 점유하고 있으며, 이를 통해 시스템 및 메모리 반도체의 양산을 가능하게 하는 역할을 합니다.
Metrology & Inspection system : ASML의 Metrology 솔루션은 웨이퍼에 구현된 이미징을 빠르게 측정하여 ASML의 리소그래피 장비에 실시간으로 데이터를 전달하는 역할을 합니다. 이를 통해 반도체 양산라인의 리소그래피 시스템이 안정적인 성능을 유지하게 만듭니다. ASML의 Inspection 솔루션은 생산된 반도체의 수 많은 패턴들을 분석하여 생산된 반도체의 결함을 찾아 분석합니다.
