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이치훈 교수
삼성전자, SSIT
Advanced Metrology Technology for Semiconductor Structure Measurements _ 온·오프라인 강의
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1. 구조 계측 Introduction 및 광학의 기본성질, CD 계측기술 이해
2. 두께 측정 원리, 응용 및 OCD 측정 원리
3. OCD 측정 응용 및 가상 계측 원리, 응용
- 2024 ~ Current
SSIT 교수
- 2021 ~ 2023
Foundry사업부 MI기술팀 팀장, Foundry Symposium 심사위원
- 2017 ~ 2020
Memory사업부 MI기술팀 팀장
- 2009 ~ 2016
Memory사업부 YE팀 PIE
- 2004 ~ 2005
North Carolina State University Visiting Scholar
- 2002 ~ 2006
서울대 Material Science & Engineering Ph.D
- 1994 ~ 2008
Memory사업부 개발실 신제품 PA
- 1994 ~ 0000
삼성전자 입사
관심 분야
· Process Integration & Yield Enhancement
- DRAM FEOL, MEOL, BEOL, Device, Reliability
· Metrology & Inspection Technology
- Spectroscopic Metrology Technology
- BF, DF, e-beam Inspection Technology
- Novel Product Critical Monitoring Methodology